該設備的用途是從石英晶圓折取晶片並將其裝入晶片托盤。先通過圖像處理對晶圓内的晶片做位置校正後進行折片,然後再次通過圖像處理進行位置校正並將晶片裝入指定的治具内。可讀取晶圓 ID並根據映射數據 (Mapping data) (如不良標記、頻率等級分佈) 進行折片。
對應產品 | 石英晶圓 2 ~ 4英寸 |
產能 | 4000p/h (0.9sec/p) |
收料 | 晶片托盤 |
晶圓ID 讀取 | 通過影像辨識裝置或條碼輸入 |
晶片補正 | 通過影像辨識裝置進行位置校正 |
移送方式 | 通過真空吸取移送 (吸嘴及轉盤) |
外形尺寸 | 1200(W) x 1000(D )x 1650(H) |
