將音叉型石英晶圓從提籃中取出,進行位置補正後測量到目標頻率的差值⊿F同時用激光剝離金屬膜來調整頻率,邊測邊調。調整完成後的晶圓將被收納回提籃中。

對應產品 音叉型石英晶圓、2 ~ 4英寸
產能4000p/h (0.9sec/p)
頻率量測多通道計數器一體型振盪電路
量測解析度 <10ppm
量測重現性 <20ppm
觸點多通道探針卡
ID 讀取 通過影像辨識裝置或條碼輸入
晶圓補正通過影像辨識裝置進行位置校正
移送方式通過真空吸取移送
外形尺寸1400(W)x1600(D)x1700(H)