水晶ウェハのチップを折り取り、ブランクトレーに挿入する装置です。ウェハ内のチップを画像処理で位置補正後に折り取り、再度、画像処理をし位置補正後に指定治具に挿入します。ウェハIDを読取、マッピングデータ (バッドマーク、周波数ランク分)で折取が可能です。

対象製品       水晶振動子ウェハチップ 2 ~ 4インチ
能力4000p/h (0.9sec/p)
ウェハ収納 ブランクトレー
ウェハID 読取画像認識装置またはバーコード入力
チップ補正画像認識装置による位置補正
搬送方式真空吸着搬送 (ノズル及びインデックス)
外形寸法1200(W) x 1000(D )x 1650(H)