水晶ウェハのチップを折り取り、ブランクトレーに挿入する装置です。ウェハ内のチップを画像処理で位置補正後に折り取り、再度、画像処理をし位置補正後に指定治具に挿入します。ウェハIDを読取、マッピングデータ (バッドマーク、周波数ランク分)で折取が可能です。
対象製品 | 水晶振動子ウェハチップ 2 ~ 4インチ |
能力 | 4000p/h (0.9sec/p) |
ウェハ収納 | ブランクトレー |
ウェハID 読取 | 画像認識装置またはバーコード入力 |
チップ補正 | 画像認識装置による位置補正 |
搬送方式 | 真空吸着搬送 (ノズル及びインデックス) |
外形寸法 | 1200(W) x 1000(D )x 1650(H) |
