ウェハカセットからウェハを1枚引出し画像認識装置で補正後、トレーに移載する装置です。その他の動作モードが選択可能です。
対象 | 2 ~ 4インチウェハ |
能力 | 60 秒/ Wafer (画像処理時間 5秒以内) |
ウェハ補正 | 画像認識装置による位置補正 |
外形寸法 | 1500(W)x950(D)x1850(H) |

ウェハカセットからウェハを1枚引出し画像認識装置で補正後、トレーに移載する装置です。その他の動作モードが選択可能です。
対象 | 2 ~ 4インチウェハ |
能力 | 60 秒/ Wafer (画像処理時間 5秒以内) |
ウェハ補正 | 画像認識装置による位置補正 |
外形寸法 | 1500(W)x950(D)x1850(H) |