ウェハカセットからウェハを1枚引出し画像認識装置で補正後、トレーに移載する装置です。その他の動作モードが選択可能です。

対象2 ~ 4インチウェハ       
能力60 秒/ Wafer (画像処理時間 5秒以内)
ウェハ補正画像認識装置による位置補正
外形寸法1500(W)x950(D)x1850(H)