音叉レーザートリミング装置

マガジンに入った音叉型振動子ウェハを取り出し、位置補正後ターゲットまでの⊿Fを計測しながらレーザーにより金属薄膜を剥離しながら周波数調整をおこないます。調整完了ウェハはマガジンに収納されます。