此裝置將晶片振蕩器和頻率計數器組合在一個封裝中,很容易應用於蝕刻和研磨製程。
最大計数頻率 | 50 MHz |
門控時間 | 100 msec |
采樣速率 | 10 msec |
振蕩頻率 | 1 ~ 25 MHz |
量程 | 5 |
外形尺寸 | 155(W)x205(D)x85(H) |

此裝置將晶片振蕩器和頻率計數器組合在一個封裝中,很容易應用於蝕刻和研磨製程。
最大計数頻率 | 50 MHz |
門控時間 | 100 msec |
采樣速率 | 10 msec |
振蕩頻率 | 1 ~ 25 MHz |
量程 | 5 |
外形尺寸 | 155(W)x205(D)x85(H) |