此裝置將晶片振蕩器和頻率計數器組合在一個封裝中,很容易應用於蝕刻和研磨製程。

最大計数頻率    50 MHz
門控時間100 msec
采樣速率10 msec
振蕩頻率1 ~ 25 MHz
量程5                
外形尺寸155(W)x205(D)x85(H)