將音叉型石英晶圓從提籃中取出,進行位置補正後測量到目標頻率的差值⊿F同時用激光剝離金屬膜來調整頻率,邊測邊調。調整完成後的晶圓將被收納回提籃中。
對應產品 | 音叉型石英晶圓、2 ~ 4英寸 |
產能 | 4000p/h (0.9sec/p) |
頻率量測 | 多通道計數器一體型振盪電路 量測解析度 <10ppm 量測重現性 <20ppm |
觸點 | 多通道探針卡 |
ID 讀取 | 通過影像辨識裝置或條碼輸入 |
晶圓補正 | 通過影像辨識裝置進行位置校正 |
移送方式 | 通過真空吸取移送 |
外形尺寸 | 1400(W)x1600(D)x1700(H) |
