該設備的用途是從石英晶圓折取晶片並將其裝入晶片托盤。先通過圖像處理對晶圓内的晶片做位置校正後進行折片,然後再次通過圖像處理進行位置校正並將晶片裝入指定的治具内。可讀取晶圓 ID並根據映射數據 (Mapping data) (如不良標記、頻率等級分佈) 進行折片。

對應產品        石英晶圓 2 ~ 4英寸
產能4000p/h (0.9sec/p)
收料 晶片托盤
晶圓ID 讀取通過影像辨識裝置或條碼輸入
晶片補正通過影像辨識裝置進行位置校正
移送方式通過真空吸取移送 (吸嘴及轉盤)
外形尺寸1200(W) x 1000(D )x 1650(H)